- 氧氮?dú)涮剂虻仍胤治鰞x
 - 光譜儀,光度計(jì),光譜分析儀
 - 金相顯微制樣檢驗(yàn)分析儀
 - 試驗(yàn)機(jī),硬度計(jì)
 - 工業(yè)顯微鏡及光學(xué)測(cè)量裝置
 - 三坐標(biāo),影像儀等形貌測(cè)量?jī)x
 - 熱分析儀,量熱儀
 - 質(zhì)譜儀及各類(lèi)聯(lián)用儀
 - 行業(yè)檢測(cè)儀器
 - 制樣及前處理設(shè)備
 - 配件耗材及配套產(chǎn)品
 
▲高性能電子光學(xué)系統(tǒng)
二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)*
高靈敏度: PD-BSD, 強(qiáng)的低加速電壓性能,低至100 V成像
大束流(>200 nA): 便于微區(qū)分析
▲性能優(yōu)良
壓力可變: 具有優(yōu)的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)*
開(kāi)倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等
*選配附件
日立熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SU5000規(guī)格:
| 
					 項(xiàng)目  | 
				
					 內(nèi)容  | 
			|
| 
					 分辨率  | 
				
					 
						1.2 nm @ 30 kV  | 
			|
| 
					 放大倍率  | 
				
					 
						10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)  | 
			|
| 
					 電子光學(xué)系統(tǒng)  | 
				
					 電子槍  | 
				
					 ZrO /W 肖特基式電子槍  | 
			
| 
					 加速電壓  | 
				
					 0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))  | 
			|
| 
					 著陸電壓  | 
				
					 減速模式: 0.1 - 2.0 kV *1  | 
			|
| 
					 大束流  | 
				
					 > 200 nA  | 
			|
| 
					 探測(cè)器  | 
				
					 低位二次電子探測(cè)器  | 
			|
| 
					 低真空模式*2  | 
				
					 真空范圍: 10 - 300 Pa  | 
			|
| 
					 馬達(dá)臺(tái)  | 
				
					 馬達(dá)臺(tái)控制  | 
				
					 5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)  | 
			
| 
					 可動(dòng)范圍  | 
				
					 
						X:0~100mm  | 
			|
| 
					 大樣品尺寸  | 
				
					 
						大直徑: 200 mm  | 
			|
| 
					 選配探測(cè)器  | 
				
					 高分辨率頂位二次電子探測(cè)器*1 高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD) 5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3 能譜儀 (EDS) 波譜儀 (WDS) 背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)  | 
			|
*1:減速功能(包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器)
*2:低真空功能(包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器)
*3:空壓機(jī)(本地采購(gòu))
    
    
